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寶石級大顆粒氮化硼

文章出處: 天元航材    責任編輯: 天元化工新材廠家    發布時間:2022-04-29 10:00:39    點擊數:3193    【
[導讀]: 天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關于寶石級大顆粒氮化硼的相關介紹,我們是一家生產銷售白石墨,六方氮化硼等化工原料的廠家,已有50年的生產工藝經驗,那么您了解寶石級大顆粒氮化...

寶石級大顆粒氮化硼

天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關于寶石級大顆粒氮化硼的相關介紹,我們是一家生產銷售白石墨,六方氮化硼等化工原料的廠家,已有50年的生產工藝經驗,那么您了解寶石級大顆粒氮化硼嗎?一起來看看這么閃亮亮名稱的產品吧!

說到藍寶石,不知道大家有了解過嗎?六方氮化硼在藍寶石的中的應用十分必要,接下來一起來看看!
藍寶石在泰國、斯里蘭卡、馬達加斯加、老撾、柬埔寨、中國山東長樂、海南、重慶江津石筍山均有發現,其中最稀有的產地應該屬于克什米爾地區的藍寶石,而緬甸則是出產上等的地方藍寶石現在最多。藍寶石是除紅寶石以外的其他顏色剛玉寶石的總稱。藍寶石的成分是氧化鋁,呈藍色是因為它含有微量元素鈦(Ti4+)或鐵(Fe2+)。由于藍寶石的廣泛應用,例如LED、太陽能電池、MOS管、單晶硅芯片、二極管等。如果六方氮化硼白墨可以直接穩定地轉移到藍寶石襯底上,將更有利于測試六方氮化硼白墨的性能和制備新的光電器件。

由于六方氮化硼白石墨具有非常好的性能,如高熱導率、高機械強度、高化學穩定性、高電阻等,使得六方氮化硼白石墨具有非常廣闊的應用前景,它可用于熱界面材料,如LED、LCD、TV、手機、電腦、電信設備等,也可用作石墨烯的涂層和基材。六方氮化硼白石墨納米薄膜的合成方法有多種,如微機械剝離法、溶液法、MOCVD法、APCVD法、LPCVD法等。目前,通過CVD法合成六方氮化硼白石墨,以不同種類的金屬為基材。

氮化硼H型,六方氮化硼H-BN

接下來小編給大家介紹下一種寶石級大顆粒氮化硼的生產步驟
1、采用可控方法在Cu箔上生長六方氮化硼薄層:采用三溫區LPCVD系統,以硼氮烷粉末為反應源。首先,將銅箔放入石英舟中,推入CVD反應室加熱溫度區,將硼烷粉放入內置石英管中,對腔體進行抽真空。然后在管式爐中加熱石英反應室。當三區反應室溫度達到設定值(800~1000℃)時,先通入H2進行表面氧化處理,繼續提高三區的生長溫度,第一區的前驅體同時加熱,達到第一區溫度(60~800℃)和第三區溫度(1000~1050℃)的設定值。來自石英管的硼烷氣體通過配比和Ar輸送到反應室進行反應,反應結束后,將樣品拉出加熱區,以HjPAr作為保護氣體,最后將樣品移出達到室溫;可以通過光學顯微鏡和掃描電鏡觀察到銅箔上的六方氮化硼薄層。
1、載氣硼烷離開石英管后,將銅箔基板以石英管為中軸彎曲成半圓柱形,折疊成石英舟。將其推入CVD反應室加熱溫度區,將室內氣壓抽至10_3TORr左右,然后用管式爐加熱石英反應室。先通入H2進行表面脫氧處理,然后繼續提高三區的生長溫度,同時加熱一區的前驅體,一區溫度設定值(60~80℃),達到第三區溫度(1000~1050℃)。HjPAr輸送產生的硼烷氣體從石英管輸送到反應室進行反應,直到完全覆蓋銅箔。反應結束后取出銅箔,用光學顯微鏡和掃描電鏡對銅箔表面進行檢測。可以觀察到生長在銅箔上的大面積六方氮化硼薄層。
3、生長有六方氮化硼在Cu箔上通過旋涂一層薄薄的pmma層,然后用過硫酸銨溶解Cu基板,回收轉移工具將pmma/六方氮化硼薄膜轉移到基板上,最后用丙酮浸泡溶液中,去除樣品表面的p_a層,完成基片晶圓級大六方氮化硼的制備。
天元航材化工原料廠家的小編今天就給您介紹到這里了,有疑問的可以電話咨詢小編我!
參考來源:http://www.xjishu.com/zhuanli/24/CN104532209.html
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