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熱解氮化硼英文名為Pyrolytic Boron Nitride,簡稱為Pyrolytic ?BN或PBN,也稱為Chemical vapour-deposited Boron Nitride、Chemical Vapour-deposition of Boron Nitride或CVD-BN等。
熱解氮化硼是一種通過化學(xué)氣相沉積法通過高溫?zé)峤夥磻?yīng)制備獲得的一種氮化硼。說到熱解氮化硼就要先說說氮化硼的兩種主要結(jié)構(gòu):六方和立方。這一點和碳的兩種晶型非常相似:石墨和金剛石。六方氮化硼和石墨在許多方面都非常相似,六方氮化硼也因此得名白石墨。熱解氮化硼是六方氮化硼,但是嚴(yán)格上說它又存在一定量的亂層結(jié)構(gòu)。采用化學(xué)氣相沉積法制備獲得PBN其主要的特點是純度非常高,可以達(dá)到99.99%以上。
PBN的結(jié)構(gòu)與形貌
熱解氮化硼(PBN)屬于六方晶系,是一種典型的層狀材料。層間與層內(nèi)原子間距差別較大,層間原子間距為3.33,層內(nèi)原子間距為1.45。熱解氮化硼的結(jié)構(gòu)由B和N原子分別在層內(nèi)和沿C軸方向交替排列組成。在高倍顯微鏡下可以觀察到,熱解氮化硼呈現(xiàn)出堆垛層錯,從而導(dǎo)致其平均層間距要大于理論的層間距。由于PBN在沉積過程中沿C軸方向生長,因此,表現(xiàn)出高度的層面取向,擇優(yōu)取向方向為C軸。
熱解氮化硼PBN性能特點
PBN是一種具有優(yōu)異性能的先進(jìn)材料。它在高溫、高真空條件下,由氨和硼的鹵化物反應(yīng)沉積而成,既可以沉積成PBN薄板材料,也可以直接沉積成管、環(huán)或薄壁容器等PBN最終產(chǎn)品。它與普通的熱壓氮化硼(BN)不同,不必經(jīng)過傳統(tǒng)的熱壓燒結(jié)過程,不添加任何燒結(jié)劑,因此獲得的產(chǎn)品具有如下顯著特點:
(1)無毒、無味;
(2)純度高,達(dá)到99.999%以上;
(3)室溫下與酸、堿、鹽及有機(jī)試劑不反應(yīng),在熔融的鹽、堿液中略腐蝕,但能抗高溫下各種酸的腐蝕;
(4)與大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體及其化合物不反應(yīng);
(5)在1000℃以下,抗氧化性能良好;
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